产品图片背景
该半导体技术设备厂家靠近长角形区县,核心生產8厘米和12厘米晶圆,日排污废发电量约2000吨。基于半导体技术设备生產工艺设计比较复杂,焦化废气组分齐全且有效各种各样难挥发东西,厂家原本有治理 建筑设施不可具备日益增长非常严格的的环保排污规范,故投资的2亿元创建技术焦化废气治理 站。
废水处理工艺含量及源
该单位废水处理重要划分成四种:
含氟电镀废水:来源地于晶圆蚀刻、洗程序,氟铁离子含量高达模型2000mg/L;
有机酸物废渣:来自五湖四海光刻、显影液等工艺设计,有效异丙醇、二甲苯等有机酸物相转移催化剂,COD值在5000mg/L前后;
酸碱性污水:发生于冲洗和表皮治疗教学环节,pH值价格波动大;
含铜工业废水:来于主轴电镀和废金属医药化工艺,铜阴离子质量浓度约150mg/L。
外理生产技术的流程
而对差异经营性质的生产废水,采用了"几大类收藏+分质治理 +尾部纵深治理 "的团体新工艺:
含氟废水操作操作线:
两极化学上的放置:先加药系统氯化钙调pH至6-7,加上入PAC和PAM斜管积淀池放置;
特异性钝化铝降解:抓好氟化合物质量浓度减至8mg/L左右。
有机质废气处理系统方法处理线:
微钛电极不良反应:铁碳塑料填料床预工作提高了废水处理工艺可生化模式性;
UASB好氧菌发应器:HRT=24h,COD消除率65%;
MBR膜动物响应器:选用PVDF空芯玻纤膜,留水COD<50mg/L。
酸碱性废液采和体系:
自行pH控住:确认线下探测仪控住加酸加碱量;
二沉池乳浊液:弄掉采和形成的浮悬物。
含铜废污水正确处理:
化学上的沉淀自己物:添加NaOH缓解pH至9-10,构成氢防氧化铜沉淀自己物;
阳阴阳离子更换:保障铜阳阴阳离子盐浓度<0.3mg/L。
深层次整理单位:
嗅氧促使脱色:进一歩生物降解难溶解有机会物;
渗透性炭油烟净化器:去掉对比度和氢化物发生器污染破坏物;
太阳光的太阳极为线杀菌:加强组织领导有水出微海洋生物指标值合格。
结果成效
业务运转后,出液生活饮用水增强达到《自主化化学工业水废弃物物排放出物量物标准单位》(GB 39731-2020)比较排放出物量物规定值要,当中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每季度可以减少氟化物排放出物量物约120吨,COD排放出物量物约400吨,再利用水网络资源约五十万吨。体统自主化层度高,运转投入操作在8.5元/吨水以上。