某半导体器件生产加工品牌因晶圆家电清洗流程引起含氨污水,出水量200吨/天。污泥里除化学需氧量外还内含氟化物和微量分析巨资属,净化处理困难大。当地城市排放量条件请求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污水的成分及来源地
晶圆的洗涤焦化废水(重点收入):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺流程废液:含轻微铜、镍等巨资属,pH值冲击大
CMP研磨机污水:含硅粒子及氧化还原电位
净化处理加工具体步骤
采用了"无机化学滤渣+膜分離+折点氯化"组和制作工艺:
预净化处理
:添加CaCl2除氟,调整pH在7.5-8.
超滤膜设备
:剔除0.01μm之上粒状物
超滤性和高浓
:将氧化还原电位原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L之内
折点氯化
:精密操纵氯加药量,将氧化还原电位应用为N2
阳离子交流
:保障机制血本属合格
然后实际效果
氯离子安稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含碳量不超过监测限
水造纸废水处理率达75%
活性污泥引发量抑制40%