该厂为8厘米晶圆生育线相互配套的超软水机系统，天天形成含硅污水150吨。污水里虽无巨资属，但硅含磷量高易结渣，且热敏电阻率需以达到18MΩ·cm才华使用。同一除理工学艺無法满意新颁行的《电子厂化学工业水造成的废气废气排放物废气废气排放要求》（GB39731-2020）尤其废气废气排放最大限度。 废水处理有效成分显著特点 通常弄脏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（孔径0.1-1μm） 个性化要 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水污染性能 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅化学物质状态僵化 处置工艺方法方法 什么是创新按照"梯级膜拆分+电去阴阳离子"搭配加工： 微滤预治理 ：1μm陶瓷图片膜手机拦截大粒状硅，通量保证80LMH 亚铁离子更换硅橡胶 ：D201大孔聚酯树脂取舍性降解硅酸分子结构 一级RO装置 ：第一点段收购 率60%，第二个段利用高脱硼膜部件 EDI电去铝离子 ：电流值硬度2A/m²，快速除掉残余物铝离子 红外光谱消毒杀菌 ：254nmUV紫外线灯线分子量40mJ/cm² 技术性突出点 开发设计使用阻硅剂（生产胺类pp物），减慢膜危害周期性3倍 EDI模快不断创新流道设定，硅取除率不断提升至99.8% 上线硅讲解仪（自动测量领域0.1-500μg/L）建立精细调控 电脑运行工作成效 经第二方的检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼分子量从8μg/L降下来0.3μg/L 操作系统收购 率从原40%提升自己至68% 膜变更时间增加至5年，年加载投资成本变低35%