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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

品牌游戏背景 该工业单位为世界各国技术型的半导首测工业单位,最靠近珠角形区县,注意使用高集成电路芯片的小学划片和装封测验。可能本地节能减排条件要严格,工业单位决心执行废水净化处理零释放項目 。項目于2020年进行,202两年多6月俊工投运,净化处理市场规模为200吨/日,总的投资约2000万的大写。 废气组分及的来源 这项需求小学划片废渣极具以上特征: 高密度氟化物,一般来源于晶圆打孔后的刷洗制作工艺,氟化合物密度多达150-200mg/L 包含nm级硅粉小粒,粒度多在100-500nm范围内 巧妙工况较高,COD在500-800mg/L 带有少量天价属如铅、镉等 导电率高,一般是在2000-3000μS/cm 除理工序的流程 为达到临“0”排放物梦想,艺设计方案侧重于决定焦化废水类型征集和市场回报: 废水处理工艺分类整理汇集平台 :将含氟生产废水处理与另一个生产废水处理分别处理 无机化学发展除氟 :利用多级钙盐沉积法,能默契配合高效能沉积池 高级的防氧化清理 :臭氧杀菌离子液体氧化的光降解难正确处理有机酸物 膜浓缩液设备 :运用DTRO碟管式反固化,萃取倍率为10倍 挥发凝结 :MVR机械设备水汽再挤压汽化器处理浓水 潮湿装置 :将晶体盐干热后是工业化的副产设备外售 清理的效果 体统电脑运行数据分析屏幕上显示: 氟化物避开率>99.9%,出液氟阳离子<1mg/L COD总清掉率>98%,有水出COD<20mg/L 水市场再利用率>95%,仅生成极富沉淀盐 年可收购 高好品质循环水约6万吨 凝结盐纯净度高达工业化的级标准的,做到自然循环经济回收利用 大型项目不仅仅变现了工业废水零排出,还可以通过资源英文出售追求了约80万块/年的增加回报。

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